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产物展现
FF型复合份子泵
  • 用处及特色
  • 规格参数
     
    产物用处:Product Applications
     
    ●FF型复合份子泵用来取得高真空和超高真空,其普遍利用于高能加快器、可控热核反映拆卸、等离子体物理空间研讨、外表物理和阐发仪器、半导体和光学元器件制作、平板显现、太阳能电池、真空镀膜、真空冶炼等触及真空手艺的电子、冶金、化工、科研等浩繁范畴。

     
    产物特色:Product Features
     
    ●高压强段坚持较大、不变的抽速;
    ●前级耐压才能强;
    ●抗打击才能强;
    ●易取得洁净的高真空或超高真空;
    ●设想怪异的转子,宁静性高;
    ●特别的冷却体系,散热性好;
    ●振动小、乐音低;
    ●布局松散,装置、保护便利。
    FF型复合份子泵
    Model FF Compound Molecular Pump
     
    手艺参数Technical specifications:

    型号 Model FF-250/1600 FF-160/620
    ******任务压力Minimum operational pressure(Pa) <1×10-6 <6×10-7
    抽气速度(对氛围)Pumping speed for air(L/s) 1700 600
    紧缩比Compression ratio 对氮气 For N2 >108 >109
    对氢气 For H2 >5×103 >6×103
    进气口法兰Inlet flange LF250(DN250  IS0-K) DN160CF
    排气口法兰Outlet flange KF50(DN50  IS0-KF) KF40
    启动时候Starting time(min) ≤8 ≤5
    额外转速Rated rotational speed (r/min) 27000 27000
    振动值Libration value(μm) ≤0.1 ≤0.1
    注油量Oiling capacity (ml) 210 210
    保举前级泵Recommended forevacuum pump 2XZ-15D(15L/s) 2XZ-4B/2XZ-8D(4-8L/s)
    轴承Bearing 紧密陶瓷球轴承
    Precision ceramic balls bearing
    紧密陶瓷球轴承
    Precision ceramic balls bearing
    装置体例Operational orientation 竖直Vertical(±5°) 竖直Vertical(±5°)
    冷却体例Cooling method 水冷 Water cooling 水冷 Water cooling
    冷却水温度Cooling water temperature(℃) ≤25 ≤25
    冷却水压力Cooling water pressure(MPa) 0.196 0.196
    泵体烘烤温度Pump body baking temperature(℃) ≤100 ≤100
    情况温度Environment temperature(℃) 5~40 5~40
    分量Weight(Kg) 47 30
     

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