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产物展现
F型涡轮份子泵
  • 用处及特色
  • 规格参数
    产物用处:Product Applications
     
    ●涡轮份子泵用于高真空和超高真空,它不能间接对大气排气,须要设置装备摆设前级泵。
     
    首要利用范畴:Main applications:
     
    ●外表物理和阐发仪器
    ●等离子体物理,空间研讨
    ●核聚变装配
    ●原子束份子束体系,粒子加快器
    ●真空镀膜
    ●真空冶炼
    ●半导体和光学器件制作

    产物特色:Product Features
     
    ●体积小,装配和利用便利
    ●抱负的动均衡,震撼和乐音小
    ●压力在10-1~10-8pa规模内有恒定的抽速
    ●陶瓷轴承利用寿命长
    F型涡轮份子泵
    Model F Vertical  Turbomolecular  Pump
    手艺参数Technical specifications:
    型号 
    Model
    FC-150/450 FG-150/450 FC-250/1400 FG-250/1400 F-400B/3500
    进气口法兰 
    Inlet flange  (mm)
    DN160CF DN160LF DN250CF DN250LF DN400LF
    出气口法兰 
    Oulet flange  (mm)
    DN40KF DN63LF DN100LF
    抽气速率  
    Pumping speed  (L/S)
    450 1400 3500
    极限压力
    Ultimate pressure
    不烘烤
    Without baking  (Pa)
    6×10-6 6×10-6 6×10-6
    紧缩比
    Compression ratio
    对N2 108 108 108
    对H2 102 102 102
    转速RPM   (r/min) 24000 24000 14100
    起动时候  
    Start-up time <(Min)
    5 10 20
    前级压力  
    Fore pressure <(Pa)
    10 10 10
    倡议接纳的前级泵
    Recommended backing pump  (L/s)
    8 15 30
    冷却水温度
    Cooling water temperature <(℃)
    ≤25 ≤25 ≤25
    冷却水压力
    Cooling water pressure (Mpa)
    0.196 0.196 0.196
    泵体烘烤温度
    Temperature of baking <(℃)
    120 120 120
    分量  
    Weight(Kg)
    35 70 125
     

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