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产物展现
RK GGC-D10坩埚传动装配
  • 用处及特色
  • 规格参数
    产物特色
     
    ●'RK GGC-D10型坩埚传动装配为外置式传动体系;
    ●全部装配分为坩埚水冷局部和传动局部(如图);两局部布局模块化组成两个全体,对装置、装配、保护、补缀出格便利简便。
    ●可承载现实环境下的肆意穴位的坩埚;
    ●知足传动轴动密封和磁流体密封交换,肆意选用;
    ●坩埚可从真空室体上方掏出,便利洁净保护;
    ●壮大扭矩有用避免步进机电丢步环境产生。
    手艺目标
     
    ●装置前提:竖直装置;真空室底板开孔为φ40mm~φ60mm;
    ●接纳加速机电传动:加速器加速比为1:32,机电为步进机电;
    ●传动体例:中间主轴传动;
    ●冷却水速度:10L/分~20L/分(水温需在15℃~25℃);
    ●动弹扭矩:74Nm。

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