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P系列真空排气台手艺参数表格
  • 用处及特色
  • 规格参数
    产物利用
     
    用于电真空器件,如磁控管、行波管、盘旋管、调速管等真空排气。

     
    首要布局与任务体例
     
    ●手工装料
    ●立式,单工位、多工位
    ●主机与控柜一体或分隔设置
         型号    
          Mode    
           手艺参数  
      Technical Data   
    P431-2 P436-1 P431-1 P432-1
    主极限真空度
    Ultimate Vacuum
    ≤2×10-6Pa 10-6Pa ≤3×10-7Pa ≤3×10-8Pa
    烘箱真空
    Baking Chamber Vacuum
    ≤1×10-1Pa 5 Pa 2 Pa 5 Pa
    烘箱任务空间
    Baking Chamber Dimension
    Ф500×1200 mm Ф700×700 mm Ф460×500 mm Ф200×1200 mm
    真空体系
    Vacuum System
    份子泵体系
    Turbo Pump System
    份子泵体系
    Turbo Pump
     System
    离子泵体系
    Ion Pump System
    冷凝泵体系
    Cryopump System
     
    ******温度
    Max.Temperature
    650℃ 600℃ 600℃ 600℃
    温度平均性(轴向)
    Temperature Uniformity
    ≤±5℃三点测温
    (3 point measurement)
    ±10℃ ±5℃ ≤±5℃三点测温
    (3 point measurement)
    抽气速率
    Pumping Speed
    ≥450 L/S ≥450L/S ≥450L/S ≥450L/S
    加热功率
    Heating Power
    12 KW 18 KW(10可调,8牢固)
    (10 adjustable,8 fixed)
    9 KW 10 KW
    总功率
    Total Power
    15 KW 22 KW 13 KW 15 KW
    加热体例
    Heating Mode
    外加热
    Outside Heating
    外加热
    Outside Heating
    内加热
    Inside Heating
    内加热
    Inside Heating


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